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高真空擴(kuò)散泵的工作原理主要分兩個(gè)部分
更新時(shí)間：2023-03-15 點(diǎn)擊次數(shù)：2978
高真空擴(kuò)散泵是一種常用的真空泵，其主要運(yùn)用于對(duì)于高真空的抽取任務(wù)，具有抽取速度快，體積小等優(yōu)點(diǎn)。那么，它是如何工作的呢？
它的工作原理主要分為兩個(gè)部分。
一是加熱部分，也就是依靠加熱器將靶材或者坩堝內(nèi)的固態(tài)物質(zhì)升溫至高溫，使其迅速揮發(fā)，形成高溫蒸汽。
二是抽氣部分，即利用泵體內(nèi)的擴(kuò)散機(jī)構(gòu)對(duì)高溫蒸汽進(jìn)行抽取，通過(guò)下游系統(tǒng)的管道將氣體排出去，達(dá)到真空效果的一個(gè)過(guò)程。
在高真空擴(kuò)散泵中，加熱部分的作用主要是將靶材或者其他固態(tài)物質(zhì)進(jìn)行升溫，在這個(gè)過(guò)程中，固態(tài)物質(zhì)逐漸變成氣態(tài)，再通過(guò)抽氣部分將其抽出，形成高速、高質(zhì)量的高溫氣體流。這樣，不斷循環(huán)操作下去，就可以逐漸將被抽空的空間變成高真空環(huán)境。
高真空擴(kuò)散泵的抽氣部分，主要是通過(guò)內(nèi)部某種特殊組織結(jié)構(gòu)下的氣體擴(kuò)散增加泵的抽氣速率和吞吐量。其抽氣原理是：在泵內(nèi)形成氣體流動(dòng)，在其裝置內(nèi)形成高速氣漿，并將其中的分子輸送到吸附表面。通過(guò)高真空環(huán)境則會(huì)在表面上發(fā)生吸附，在高溫蒸汽的作用下，吸附的過(guò)程將得到逐漸解除。這里的能量轉(zhuǎn)換方式通過(guò)氣體的擴(kuò)散和移動(dòng)形成。而其抽氣器結(jié)構(gòu)則是合理地根據(jù)上述原理設(shè)計(jì)而來(lái)，通過(guò)抽氣器的擺動(dòng)或旋轉(zhuǎn)等技術(shù)手段，可以將這些吸附在泵內(nèi)表面上的氣體分子重新?lián)]發(fā)并抽出，裝置出口處形成的真空環(huán)境得到維護(hù)和保持。
總之，高真空擴(kuò)散泵通過(guò)上述加熱和抽氣原理，不斷地將被抽空的空間內(nèi)的氣體逐漸排出，不斷加深真空度，形成了一種非常高質(zhì)量的真空環(huán)境。而其依靠加熱裝置和抽氣裝置相關(guān)結(jié)構(gòu)相互作用，則有了更為的抽取效率和迅速響應(yīng)能力，也成為各個(gè)領(lǐng)域的必裝設(shè)備。
